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pecvd
pe 目的
在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜,以增加入射在硅片上的光的透射,减少反射,氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。
其化学反应可以简单写成 : sih 4 +nh 3 =sin:h+3h 2 。
基本 原理
pecvd 技术原理是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电(或另加---体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜。 pecvd 方法区别于其它 cvd 方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子,它们可以提供化学气相沉积过程所需的---能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程,生成活性---的各种化学基团,因而---降低 cvd 薄膜沉积的温度范围,使得原来需要在高温下才能进行的 cvd 过程得以在低温下实现。
基本特征
1. 薄膜沉积工艺的低温化( < 450 ℃ )。
2. 节省能源,降低成本。
3. 提高产能。
4. 减少了高温导致的硅片中少子寿命衰减。
扩散方式
pe 设备有两类:平板式和管式。
按反应方式分为:直接式(岛津)和间接式( roth & rau )。
直接式:基片位于一个电极上,直接接触等离子体。
间接式:基片不接触激发电极。 在微波激发等离子的设备里,等离子产生在反应腔之外,然后由石英管导入反应腔中。在这种设备里微波只激发 nh3 ,而 sih4 直接进入反应腔。间接 pecvd 的沉积速率比直接的要高很多,这对---生产尤其重要。
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四、色调偏色
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1、多晶硅片:单个充电电池的色调匀称相同,色调的范畴从深蓝色刚开始,经暗蓝色、鲜红色、棕褐色、到深褐色中间容许相仿色的偏色(深蓝色和暗蓝色存有单个充电电池上,但不容许跳色),行为主体色调为暗蓝色,单个充电电池容许二种色调。2、多晶硅电池片:同一整片电池片色调匀称相同,色调范畴中沒有深褐色,别的同多晶---的辨别。新的规范:片式上匀称相同的不一样色调的电池片,依照淡蓝色、深蓝色、鲜红色几种开展归类。
b级
1、多晶硅片:单个充电电池色调不匀称,容许存有跳色偏色,数跳1个相仿色(比如:鲜红色和深褐色存有于单个充电电池上),行为主体色调为深蓝色-鲜红色范畴,单个充电电池个容许存有几种色调。
2、多晶硅电池片:与多晶电池片对比,只少了行为主体色调,别的同多晶b级的辨别。新的规范:与旧规范同样
c级
1.多晶硅片:同一整片充电电池容许色调不匀称(深蓝色-暗蓝色-鲜红色-棕褐色-深褐色)容许存有跳色偏色,以电池片上能够有***2个相仿色。
2.多晶硅电池片:与多晶电池片对比,色调范畴中少了深褐色,其他同多晶c级的辨别。新的规范:与旧规范同样注:当片式上为匀称相同获得不一样色调,判为---,回收报废太阳能电池板多少钱,但需依照淡蓝色、深蓝色、鲜红色几种开展单测单包。
振鑫焱光伏科技有限公司常年采购:---回收硅片,电池片,初级多晶硅,银浆布,单晶硅,多晶硅,太阳能电池,光伏组件,太阳能电池板,客户撤退,降级,库存,el,---测试,二手,旧工程,拆卸,路灯,拆解电站,拆卸,胶合板,层压板,无边界晶体硅,多晶硅,单晶硅,实验板,---偿还,返工,光伏模块回收等。
六、 虚印:
1、 网版堵塞:用醇先擦一遍,再用干无尘布擦干;
2、 印刷刮刀条不平:更换刮刀条;
3、 网版不合格:更换网版;
4、 车间温度与湿度不合适:温度控制在22±2℃,湿度控制在50±3%;
5、 印刷参数不合格:调整印刷压力、印刷间隙与印刷速度
6、 工作台板不平,磨损---:检查更换工作台板;
7、 印---导轨不平:设备重新调整导轨;
七、 粗线:
1、 原硅片为线痕片:控制线痕原硅片;
2、 网版使用次数太多,张力不够:更换新网版。

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